全方位安裝　■輕巧設(shè)計　■節(jié)能　■分子泵停止與啟動時間短　■附帶維護警報機能　■低振動　■無需調(diào)整　■自動校準　■可控制轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)速度　■大流量排氣　■多種通信模式　■符合安全規(guī)格　NRTL/SEMI-S2/CE用途?半導(dǎo)體制造?電子槍排氣，離子源排氣?FPD制造?表面處理，表面改質(zhì)?各種電子部件的制造?分析，試驗裝置?管球制造，光學(xué)部件制造?加速器，放射線設(shè)施，核聚變研究?熱處理?研究開發(fā)規(guī)格外觀尺寸表性能曲線控制器吸氣口法蘭VG150CF160ISO-B160排氣速度N2 (L/s)900N2(附加金屬保護網(wǎng)) (L/s)860H2 (L/s)1050大壓縮比N21×108　H21.5×104　極限壓力VG?ISO-B/CF (Pa)